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SCG200系列半导体级单晶硅炉
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SCG200系列半导体级单晶硅炉

所属分类：

半导体级单晶硅炉

应用领域：主要应用于8英寸硅片制造。

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产品描述

◆ 设备具有高稳定性、高可靠性的结构设计；

◆ 配备了自主研发的晶体生长控制系统；

◆ 配合低能耗、高清洁度热场系统及超导磁场，可实现全自动长晶；

◆ 生长晶体可满足半导体级8英寸轻掺硅片指标要求。

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