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SCG200系列半导体级单晶硅炉


应用领域:主要应用于8英寸硅片制造。

SCG300系列半导体级单晶硅炉


应用领域:主要应用于12英寸硅片制造。

SCG400系列半导体级单晶硅炉


应用领域:主要应用于12英寸重掺硅片及12-18英寸半导体硅耗材制造。

JSSD系列感应加热PVT碳化硅单晶炉


应用领域:主要用于生产4-8英寸碳化硅单晶衬底。

SCET420系列感应加热PVT碳化硅单晶炉


应用领域:主要用于生产4-8英寸碳化硅单晶衬底。

SCMP系列感应加热PVT碳化硅单晶炉


应用领域:主要用于生产4-8英寸碳化硅单晶衬底。