产品中心


JSSD系列感应加热PVT碳化硅单晶炉
+
  • JSSD系列感应加热PVT碳化硅单晶炉

JSSD系列感应加热PVT碳化硅单晶炉

所属分类:

应用领域:主要用于生产4-8英寸碳化硅单晶衬底。

如果您希望获取更多产品信息,欢迎联系我们

产品描述

◆ 设备采用模块化结构设计,可方便切换晶体生长尺寸和石英腔室冷却方式;
◆ 全金属密封结构可以降低漏率;
◆ 旋转液动力的冷却方式提升了冷却均匀性;
◆ 高精度控温控压及远程监控技术进一步提升了设备自动化程度。

上一页

下一页

← 返回列表